真空电镀在真空环境中，气体非常淡薄，残存气体的电离可忽略不记。一对带电触头在这种高真空环境中的别离，便会发作真空电弧。真空电镀设备真空电弧是这么发作的：当触头即将别离前，触头上原先施加的触摸压力开端减弱，动态触头间的触摸电阻开端增大，因为负荷电流的效果，发热量添加。在触头刚要别离刹那间，动态触头之间仅靠几个尖峰联系着，此刻负荷电流将密布缩短到这几个尖峰桥上，触摸电阻急剧增大，一起电流密度又剧增，致使发热温度敏捷提高，致令触头外表金属发作蒸腾，一起细小的触头间隔下也会构成极高的电场强度，构成强烈的场致发射，空隙击穿，继而构成真空电弧。真空电弧一旦构成，就会呈现电流密度在104A/cm2以上的阴极斑驳，使阴极外表部分区域的金属不断熔化和蒸腾，以坚持真空电弧。在电弧平息后，电极之间与电极周围的金属蒸气密度不断下降直到零，依然恢复高真空状况。

真空中的电弧有两种方式，分散形电弧和缩短形电弧。

分散型真空电弧：

当真空电弧电流不大时，阴极斑驳将不停地运动，通常是由电极基地向边际运动。当阴极斑驳抵达边际，等离子锥便曲折，接着阴极斑驳就俄然平息，在电极基地又会继续不断地发作新的阴极斑驳。假如电流坚持不变，阴极外表存在的阴极斑驳数基本上坚持不变。当电弧电流增大或减小时，阴极斑驳也随之添加或削减。这种存在很多阴极斑驳的真空电弧，跟着阴极斑驳的运动不断地向附近分散，所以叫分散型真空电弧。

缩短型真空电弧：

若用铜作电极，当电弧电流添加超越A时，电弧的外形将俄然发作变化，阴极斑驳不再向附近作分散运动，而是相互吸引，成果一切的阴极斑驳都集合成一个斑驳团，阴极斑驳团的直径可达1~2CM。此刻阳极上呈现了阳极斑驳，阴极外表和阳极外表均有强烈的光柱，阴极光柱与阳极光柱自由地向电极的附近分散变成数条接连的闪光，有时偶然也与电极平行。真空电弧一旦集合，阴极斑驳与阳极斑驳便不在移动或以很缓慢的速度运动，阳极和阴极外表被部分强烈加热，致使严峻熔化，这种真空电弧叫做缩短型真空电弧。

任何一种真空电弧对真空灭弧室的灭弧及其电气寿数均有严重不良影响。

电弧或弧光放电的基本概念：

电弧或弧光放电是气体放电的一种方式。

气体放电在性质上和外观上是各种各样的。在正常状况下，气体有杰出的电气绝缘功能。但当在气体空隙的两头加上足够大的电场时，就可以致使电流通过气体。这种景象称为放电。

放电景象与气体的品种和压力、电极的材料和几何形状、南北极间的间隔以及加在空隙两头的电压等要素有关。例如在正常状况下，给气体空隙两头的电极加压到必定程度时，普通空气中电子在电场效果下高速运动，与气体分子磕碰后发作较多的电子和离子，真空电镀设备新生的电子和离子又同中性原子磕碰，发作更多的电子和离子，这时，气体开端发光，两电极变为火热，电流敏捷增大。这种性质上的改变称为气体空隙的击穿，其所需的电压称为击穿电压。 这时，因为电场的支撑，放电并不中止，故称为自我克制放电。电弧则是气体自我克制放电的一种方式。电弧具有电流密度大和阴极电位下降的特色。

真空空隙的电击穿发作的要素：

真空击穿是一个归纳的杂乱的物理进程，主要要素有：真空度，电极材料，电极间隔，压力的影响，老到效果，开断电流的巨细，操作条件的影响等。

真空空隙的电击穿有两方面要素：一是场发射，一是微粒碰击。对于小空隙场致发射效果较大，大空隙中微粒碰击也许性较多。

1)、场致发射--通过机械磨光和洗净的电极双面，微观上依然存在高低不平，存在很多微米级的尖峰突出物，尖峰处的部分电场也许添加上百倍，会发射电子流。假如电极外表有杂质或氧化物存在，电极外表的逸出功会下降，场致发射更易发作。尖峰发射的电子流虽不大，但因其面积小，电流密度却很大，会使部分发热，不只电子发射增强，还也许发作蒸腾、熔化，释放出金属蒸气，金属原子又与发射电子磕碰构成游离，呈现击穿。

2)、微粒碰击--电极外表老是存在一些金属微粒，微粒在电场效果下带着电荷脱离电极，加快碰击对方电极，由动能转为热能，致使部分加热、汽化，释放很多金属蒸气，构成金属云，致使空隙击穿。www.qypvd.com